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根據臺灣經濟部統計，今年第1季臺灣的半導體設備產值達105.97億元新臺幣（約為13億美元），年增率29.1%，而在手持行動裝置、物聯網、車用電子及高效運算等科技產品的帶動下，全年產值可望突破400億元，再創近年新高。
近年來，由于臺灣半導體產業蓬勃發展，帶動相關半導體設備的需求，使得臺灣半導體設備(包括生產及檢測設備)產值水漲船高，已連續5年正成長，去年的產值達393.82億元，年增率7.3%。
目前臺灣的半導體設備還是以進口為主，其中日本及美國是主要的進口來源；不過，近年來有些半導體設備正逐漸由臺灣產品替代，這些臺灣半導體設備甚至開始出口到大陸、美國、新加坡等地。根據國際半導體設備產業協會(SEMI)統計，2016年全球半導體設備銷售金額為412億美元，臺灣是最大的設備需求地區，進口值達167億美元；因此，未來如果進口替代的比重提升，那么臺灣半導體設備的產值將可望進一步成長。
