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    日前，科技部會同北京市和上海市政府組織召開了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”成果發(fā)布會，介紹了集成電路專項(xiàng)實(shí)施以來取得的豐碩成果。在國家科技重大專項(xiàng)的引領(lǐng)和支撐下，我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起，輻射帶動我國LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

　　集成電路芯片是信息時代的核心基石，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平，集成電路產(chǎn)業(yè)已成為影響社會、經(jīng)濟(jì)和國防的安全保障與綜合競爭力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。

　　“芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，芯片興則經(jīng)濟(jì)興，沒有芯片就沒有安全。” 專項(xiàng)技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長葉甜春研究員說。

　　長期以來，我國集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進(jìn)制造裝備、材料和工藝引進(jìn)等方面的種種限制，高端芯片主要依賴進(jìn)口。我國集成電路產(chǎn)品連續(xù)多年進(jìn)口額超過2000億美元，超過石油成為最大宗進(jìn)口產(chǎn)品。

　　為實(shí)現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實(shí)施極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝國家科技重大專項(xiàng)，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。據(jù)科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏介紹，該專項(xiàng)由北京市和上海市政府牽頭組織實(shí)施。共有200多家企事業(yè)單位、2萬多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān)，集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

　　集成電路制造創(chuàng)新體系建設(shè)成績斐然“此次發(fā)布的專項(xiàng)成果包括9年來已研發(fā)成功并進(jìn)入海內(nèi)外市場的30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品，面向全球開展服務(wù)的65－28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術(shù)成果。” 北京市經(jīng)信委主任張伯旭表示，高端裝備和材料從無到有填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國際競爭，表明國家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。在近幾年我國集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展中，重大專項(xiàng)發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領(lǐng)和技術(shù)支撐作用。

　　“培育自主知識產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施的重中之重。”據(jù)葉甜春介紹，目前集成電路專項(xiàng)已申請了2.3萬余項(xiàng)國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國際發(fā)明專利，所形成的知識產(chǎn)權(quán)體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。

　　“以培育產(chǎn)品、做強(qiáng)企業(yè)為宗旨的機(jī)制體制創(chuàng)新成為亮點(diǎn)。”張伯旭介紹，集成電路專項(xiàng)以培育真正可用產(chǎn)品、做大做強(qiáng)企業(yè)為目標(biāo)，進(jìn)行了組織實(shí)施的機(jī)制體制創(chuàng)新。首先，下游考核上游、整機(jī)考核部件、應(yīng)用考核技術(shù)、市場考核產(chǎn)品的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品。

　　其次，采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式，專項(xiàng)與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動了專項(xiàng)成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列，一批骨干企業(yè)開始積極參與國際競爭，專項(xiàng)支持的企業(yè)在資本市場備受青睞。

　　可喜的是，國內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國際領(lǐng)先。

　　“十三五”謀求再突破“通過極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝國家科技重大專項(xiàng)的實(shí)施，我們從無到有填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈空白，由弱漸強(qiáng)走向世界參與國際競爭，構(gòu)建起了較為完整的集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新體系；探索出了以企業(yè)為主體、產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同的大兵團(tuán)作戰(zhàn)創(chuàng)新模式，創(chuàng)造了一個適應(yīng)產(chǎn)業(yè)國際化趨勢又具有中國特色的行之有效的科技創(chuàng)新機(jī)制；聚集和培養(yǎng)了一支世界一流的集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)人才隊(duì)伍，極大地提高了企業(yè)的可持續(xù)創(chuàng)新能力。” 上海市科委總工程師傅國慶表示，盡管我國集成電路制造技術(shù)實(shí)現(xiàn)了跨越發(fā)展，整個產(chǎn)業(yè)也發(fā)生了巨大的變化，但是必須清醒地認(rèn)識到，我國的產(chǎn)業(yè)發(fā)展起點(diǎn)仍然偏低，與發(fā)達(dá)國家的差距仍舊較大。如今，我國集成電路產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展已經(jīng)站到了一個新的歷史起點(diǎn)上。“應(yīng)該說，我們今天取得的進(jìn)展只是邁出了"萬里長征第一步"，必須清醒地看到，我們馬上就會迎來一個艱苦的"爬坡"階段。”

　　關(guān)于今后的發(fā)展，傅國慶表示，面向2020年，專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用，培育具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群，為創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施提供科技支撐。

　　葉甜春介紹說，專項(xiàng)已經(jīng)在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署，預(yù)計到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化。“十三五”還將重點(diǎn)支持7－5納米工藝和三維存儲器等國際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。